随着微机电产品的小型化和微型化,微装配技术在微机电系统(MEMS)中发挥越来越重要的作用。若要使MEMS引信中的零件能够准确、可靠的装配到一起,需要构建一套适用于MEMS引信的微装配系统。针对MEMS引信零件小、薄、脆等特点,以MEMS引信安全解除保险机构中的齿轮、齿轮轴、平衡摆、平衡摆轴为装配对象,提出了一套适用于MEMS引信的微装配系统方案,并且设计了该微装配系统中的关键部件并进行了实验研究。确定了由压电陶瓷(PZT)驱动,基于柔性铰链的双向平面四杆机构的微动工作台结构,并对其进行运动分析、Pro/E三维建模、并利用ANSYS进行有限元静态仿真分析和模态仿真分析,仿真结果与解析计算基本一致,初步证明该微动工作台的结构基本可行;设计了能够吸附不同零件的真空吸附台结构及真空吸附回路;确定了由压电陶瓷(PZT)驱动,柔性铰链二级放大的微夹持器结构,并利用Pro/E进行三维建模、ANSYS静态分析和仿真计算及ANSYS模态分析。最后对微动工作台和微夹持器进行试制、实验测试。实验测试结果表明微动工作台基本能达到设计要求,能够实现X向和Y向分别是0～10um的行程,微夹持器随着电压的升高和降低能够实现闭合和张开,最大张合量是245um,实际放大倍数约为12.2,小于理论设计和有限元仿真计算的放大倍数,对此结果做了分析与总结。虽然微夹持器的放大倍数相对低一些,但是能够夹持MEMS引信安全解除保险机构中的零件,因此该微夹持器的结构基本是可行的。本文的研究工作为后续搭建MEMS引信的微装配系统提供了基础,同时对构建其他微装配系统也有一定的参考意义。