单振子双腔并联无阀压电微泵的性能分析及仿真模拟

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【摘要】

：

微电子机械系统(MEMS)的飞速发展令世人瞩目,而微流体控制系统作为MEMS技术研究的一个主要方向,已展示了其广阔的市场应用前景。微泵是微流体控制系统的重要执行器件,是微流体控制系统发展水平的重要标志,目前已研制出多种类型的微型泵,而其中又因无阀型微泵结构简单、装配方便等优点,而成为近年来研究热点。本文介绍一种单振子双腔并联无阀压电微泵的结构及其工作原理,并分析和研究它的性能。首先根据弹性薄板小挠

【作者】

：

彭作明

【机构】

：

山东大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

双腔并联无阀压电微泵多物理场耦合数值模拟 ANSYS

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