等离子体隐身技术是指产生并利用在武器装备（如飞机、舰船等）表面形成的等离子体来实现规避雷达探测的一种隐身技术,是一种针对雷达信号的主动隐身技术,具有使用灵活、宽频效果良好、不影响结构外形和启动特性等诸多优势,已展现出巨大的发展潜力,是进一步提升隐身性能的有效技术途径。在等离子体隐身技术中,等离子体的产生方式多样。因为电子束等离子体有等离子体与发生器分离的特点,相比其他等离子体源,其产生的等离子体空间分布更合理,空间尺寸易于调节,能量利用效率高,获得方式受工作气压和气体种类的限制少。因而对电源的要求更低,设备也更轻便,具有较高的工程应用价值。本文采用仿真计算与实验研究相结合的方案,对电子束等离子体与电磁波的相互作用进行系统研究。在仿真方面,基于有限差分法模拟电子束轨迹,研究了电子枪特征参数对束流轨迹的影响;利用三维放电室混合仿真模型计算得到电子束等离子体参数分布,并通过相关实验对仿真结果进行验证和对比研究;基于有限积分法分析了等离子体遮盖目标时,等离子体云大小、等离子体密度、碰撞频率对目标后向RCS的影响。研究工作将电子束输运过程、等离子体产生过程、等离子体与电磁波相互作用过程结合,模拟了电子束等离子体对电磁波衰减的实际工作状态,预测了系统对电磁波的良好衰减效果。在实验方面,通过电场约束和磁场约束的结合,配合相应的仿真计算,对电子束束流轨迹进行了有效控制,压缩电子束传输过程中的束径,对束腰位置进行了准确判断,从而减小了膜片孔径尺寸;同时,大幅度降低了系统对真空差分系统的压力,降低了真空差分系统的体积和质量,实现了系统的小型化。对等离子体参数进行初步测量,将实验结果与仿真计算结果进行了对比研究。方案将系统各部组件参数进行结合,确保研究结果的真实可信。