谐振式微机械压力传感器具有尺寸小、精度高、稳定性好、易与数字电路接口等优点，在压力检测领域有着广阔的应用前景。精确测量是谐振式微机械压力传感器研究的目标，驱动检测电路的性能优劣直接影响整体器件测量效果，本论文主要针对谐振式微机械压力传感器驱动检测电路展开研究。　　论文首先简单回顾了MEMS技术及压力传感器的分类，对谐振式压力传感器的激励方式及接口电路做了简要介绍;其次分析了微机械谐振式压力传感器的结构和工作原理，比较了不同的变电容检测方式，并讨论了各自的优缺点;在此基础上，理论分析了谐振式压力传感器基于AGC控制技术和基于PLL控制技术的两种闭环驱动方式的基本原理和运行特性，通过建立传感器与驱动电路的Simulink仿真模型，分别对基于直流自动增益和交流自动增益控制技术的两种AGC闭环驱动回路进行了对比研究，确定了本课题的交流AGC技术方案。然后基于交流AGC控制回路，仿真了不同谐振子参数及接口电路参数下系统的振荡特性。利用Mu1tisim软件对驱动检测模块电路（包括C/V转换电路、相位补偿电路、交流AGC自动增益控制电路、带通滤波电路、电压比较器和计数器等）进行了仿真分析，并最后将电路制成电路板进行测试。实验结果与软件仿真结果相吻合，各模块能够正常工作。频率检测模块可检测出9KHz～49KHz范围的谐振频率;闭环激励模块可以实现恒幅振荡，在不同频率下，其输出电压能够稳定在2.4V左右。