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薄膜太阳电池的研究及其应用是当今光伏领域的研究热点，CdTe多晶薄膜太阳电池是受到广泛重视的薄膜电池之一，它的基本特点-多晶薄膜、化合物半导体、异质结器件-导致了一些重要的问题未能得到很好的解决。本文针对CdTe多晶薄膜电池制备中的几个重要环节：CdTe多晶薄膜的制备及后处理、背接触层制备、CdS多晶薄膜的后处理技术、器件物理做了深入研究。在此基础上制备出高效率CdTe太阳电池。结合器件特性表征分析了限制CdTe太阳电池转换效率的主要因素，提出高效率CdTe太阳电池的新结构。取得如下创新性进展： 1、发展了碲化镉多晶薄膜的表征研究，优化了廉价氩氧气氛下使用近空间升华技术沉积CdTe多晶薄膜的制备和后处理条件。用织构系数定量表征了衬底、衬底温度、氧浓度对薄膜择优取向程度的影响；在玻璃衬底上制备了单层CdTe多晶薄膜，研究了制备和后处理条件对其光学、电学性质的影响。取得了前人未报道的实验结果。 2、通过对ZnTe:Cu多晶薄膜的结构、电学、光学性质随铜浓度、温度而变化的表征研究，用晶界缺陷模型从物相、结构的变化首次系统阐明了ZnTe:Cu多晶薄膜的反常电导温度行为的形成机理，由此优化了CdTe多晶薄膜的背接触层后处理技术。 3、通过对CdS多晶薄膜的结构、电学光学性质、表面特性随后处 四川大学博士学位论文理气氛、时间、温度而变化的表征研究，优化了CdS多晶簿膜的后处理条件为：先在氮气 ＋ CdCI。气氛中 380’C处理 30分钟，获得合适的费米能级；然后在近空间升华沉积 CdTe薄膜之前，氢气气氛中 380 oC下原位处理 10分钟，达到清洁 CdS ＄膜表面的目的。 4、在上述研究的基础上制备了CdS／CdTe电池，井研究电池性能随 CdTe簿膜退火温度、沉积温度、氧浓度的关系，及 ZnTe／ZnTe（u背接触层结构、铜浓度、后处理条件对电池的影响。连续创造了国内多晶薄膜太阳电池转换效率的最高纪录。现在，电池转换效率为 13．4％；填充因子。开路电压单项指标分别达到了73．l％和860。V。接近国外CdTe太阳电池研究领先水平。 5、模拟计算了CdTe多晶簿膜性质、CdS／CdTe界面形成的CdSTe三元相性质，和 ZnTe（ZnTe：Cu）背接触层结构、背接触势垒对 CdS／CdTe太阳电池的性能的影响，这样的研究尚未见报道。为这种电池的结构设计提供了重要依据，也由此提出了高效率CdT。太阳电池的新结构：TCO（Zno：F、Cdsn04）／窗口层（ZnS、Znse）／CdTe（1－2 微米）／ZnTe（ZnTe：Cu）／An。