Sol-gel法制备稀土掺杂ZAO薄膜的红外发射率及光致发光特性研究

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【摘要】

：

利用溶胶凝胶法,在石英玻璃的基底上沉积了镧系稀土元素和Al共掺的ZnO薄膜,利用了XRD衍射和SEM分别研究了薄膜的结构和表面形貌。在不同Er掺杂浓度和退火温度下研究了ZAOEr薄膜在8~14μm的红外发射率和光学性质。ZAOEr薄膜具有六方纤锌矿的结构,并且沿(002)晶向择优生长,可见光范围内的透光率在85%以上。薄膜的禁带宽度会随着Er含量的增加而出现红移。当激发波长为290nm时,可观察到

【作者】

：

王政

【机构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2011年03期

【关键词】

：

ZAO 溶胶凝胶方法红外发射率透光率光致发光

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