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本文首先提出了一种新型的光纤干涉测量系统,它基于迈克尔逊干涉仪的测量原理,能够对微纳米表面进行远程精密测量。系统中包含两个光纤干涉仪,其中一个作为传感干涉仪用来远程感应被测物理量；另一个作为解调干涉仪,解调被测量。利用光纤布拉格光栅作为反射镜,使解调干涉仪同时工作在高相干和低相干状态,利用高相干干涉信号决定测量精度；利用低相干干涉信号决定被测物理量的幅值,实现绝对测量,且使测量量程突破半波长的限制。对于微表面3D形貌测量,点扫描测量模式需要进行二维扫描,测量速度较慢、扫描机构复杂等不足,我们