随着现代工业的不断发展，三坐标测量机在生产中得到了广泛的应用，它的发展水平已经成为衡量现代制造技术以及制造技术水平发展高低的一个非常重要的标志，成为现代化的工业生产中对零件进行生产、测量、质量把关必不可少的关键检测仪器，与此同时对测量机的测量速度和测量精度也提出了越来越高的要求，但是由于测量机自身的结构特点，速度和精度的提高又受到一定因素的制约。本文设计了一种移动桥式三坐标测量机，通过Solidworks三维软件对测量机结构进行建模，利用ANSYS有限元软件进行静力学分析和模态分析，研究了测量机的动态特性和稳定性，确定了整机结构方案，并对其主要部件进行了展开分析设计，着重对三坐标测量机中气浮导轨中气浮垫的结构设计、各轴气浮导轨的分布，斜摩擦轮传动机构以及Z轴平衡和安全保护装置进行了分析设计，为测量机系统的成功设计提供了保障。目前，市场上80%的三坐标测量机均为移动桥式结构，因此对移动桥式结构三坐标测量机进行深入的研究具有一定的代表性。本文对移动桥式三坐标测量机所产生的动态误差进行了详细的分析，研究了机构误差、机体动态变形、温度误差、测头误差等测量机的主要动态误差源，并对影响测量机测量精度的主要误差源之间的相互关系进行了分析。在分析了三坐标测量机的触发式测头触发原理的的基础上，分析了测头的动态性能，通过分析得到了影响测头动态性能的主要因素，给出了等效作用直径的定义，分析了速度参数对等效作用直径的影响。