2×2光波导开关的理论研究与工艺制备

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如今光纤传输技术发展飞速,光通信被利用于传输、路由、分配和发送语音、视频、数据、Internet和多媒体等等各个不同类型的信息,全光网络越来越多的走进了人们的生活。光开关是新一代全光网络的关键器件,主要用来实现全光层次的路由选择,波长选择,光交叉连接,自愈保护等功能。通过光纤或光学元件的移动使光路发生改变的机械式光开关开关时间较长,一般为毫秒量级,有的还存在回跳抖动和重复性差的问题。而通过电光效应、磁光效应、声光效应以及热光效应以改变波导折射率,使光路发生改变的波导型光开关具有开关时间短、体积小、稳定性好、便于光集成或光电集成的优点。目前国内外研究机构研究高性能的波导型光开关有其重要性和迫切性。本文首先对以铌酸锂为基底的2×2定向耦合器型光波导开关进行了深入的理论研究,分析了光在平面波导和条型波导中的传输理论,并用有效折射率法建立了模式的本征值方程,导出了波导的有效折射率,并在此基础上分析了光开关的工作原理,导出了耦合长度表达式; 本文以光传输的耦合模方程为基础,根据晶体的电光效应原理,设计出了光开关的单电极结构和反向交替?β型电极结构,通过分析对比理论效率和实际工艺的平衡,我们选择了反向交替?β型电极结构来调制2×2光波导开关; 在进行理论研究的同时,本文对光开关的工艺制作:光刻,溅射,扩散,抛磨端面,套刻电极等每一步工艺都进行了深入详细的实验研究。我们在现有的实验条件下,经过反复实验,分析和改进,克服了光刻,溅射,扩散等各个阶段中的难题,总结出各部分最优的工艺参数,制备出了2×2定向耦合器型光波导开关,在本文的最后对制备出的光波导开关的各种损耗进行了分析,建立了测试系统,对光开关进行了通光测试,并对本2×2定向耦合器型光波导开关以后的耦合封装V型槽进行了设计。
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