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自从亚波长光栅被发现以来,其巨大的应用潜力引起了人们广泛的关注。目前,亚波长光栅可以用于各种光学元件,如偏振器件、窄带滤波器以及相位板等。而将其应用于抗反射膜层的研究,是近几年刚发展起来的热点之一。本文通过研究传统抗反射层以及亚波长光栅,设计了多层亚波长光栅抗反射层结构,有效降低了光伏电池表面光波的反射损耗;并使用严格耦合波算法(Rigorous Coupled Wave Algorithm, RCWA)和等效介质理论(Equivalent Medium Theory, EMT)分析所设计光栅结构的