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Power MEMS(MEMS-based power sources)即基于MEMS的微能源动力系统,在航空航天、通信、生物医学、国防等领域具有广阔的应用前景,将给现代社会带来重大而深远的影响。国内外已经相继开展了对它的研究,不少概念样机也已经问世,不过究其实质大多都是将现有宏观尺度的热机进行比例微缩(Scale Down)所形成的中介尺度热机概念。虽然其工作过程与宏观尺度相同,但是在结构的微型化过程中形成的几何相似,却难以确保机械相似和热力相似的成立,这直接导致了到目前为止尚没有出现成功的超高能