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ZnO薄膜在太阳能电池、电子通讯设备等众多领域具有广阔的应用前景,随着铝、锂、硼、氮等元素的掺杂,ZnO薄膜的性能得到优化。相比未掺杂的ZnO薄膜,经掺杂的ZnO薄膜的导电性能和光学性能明显提高。但早期研究者大多数在透明玻璃、单晶硅片、蓝宝石等硬质基体上沉积ZnO薄膜,不能弯曲和折叠,很难满足现在工业对柔性器件的发展需求。近年来,越来越多的电子器件开始朝着柔性化、轻质化方向发展,例如液晶显示器、太阳能电池、可穿戴设备等,使得对高性能柔性透明导电薄膜的需求日益增长。本研究正是基于这样的背景,研读了近年