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在高能脉冲TEA CO2激光系统中,光学薄膜的性能是限制激光功率提高和光束质量改善的关键技术问题。本文对高功率CO2激光谐振腔中用作反射镜的全反膜和用作窗口的减反膜、部分反射膜进行了膜系设计和镀制研究,并对高能激光薄膜损伤机理进行了研究。本文从材料的热传导率、吸收以及热膨胀系数入手,选择合适的反射镜基底材料和窗口基底材料。采用Needle优化设计方法,考虑了高功率激光系统中光学薄膜内部电场强度分布,设计出损伤阈值较高、膜厚容差较大的膜系结构。在薄膜镀制过程中,研究了光学薄膜的监控