近年来，随着电子工业、化学工业、薄膜及冷冻干燥行业的蓬勃发展，越来越多的行业要求有清洁的、没有油蒸汽存在的真空环境作为其生产基础，因此市场对干泵的需求也越来越迫切。本课题所研究的四级全爪型干式真空泵就是干泵的一种，这种四级爪型干式真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速；可以不接前级泵而直排大气；在工作过程中，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染；还能够抽除气体携带的金属粉尘和矿物颗粒。它主要应用于半导体、石化、冶金、食品、医药等行业。 本课题采用有限体积法(FVM)，在专业流体有限元分析软件CFX5.7的环境下，对爪型干式真空泵内部流动场进行了分析，并在此基础上对气体中所挟带的氮化铝杂质颗粒的运动进行了模拟。 作者在现有的资料和实验条件下，首先根据样本数据对样本中的抽速为30L/s四级全爪型干式真空泵进行了设计计算及核算，而且根据设计尺寸建立了三维实体模型，并进行了拟实装配，确保设计尺寸与样本尺寸无太大的偏差。 作者查阅了大量相关文献，在流体力学方面，对现有的几个计算流体力学模型进行了分析研究，最终选择了k-ε二方程模型，并对其进行了一些修正，使其能够符合本次模拟的条件。在颗粒运动方面，作者借鉴了流化床模拟计算中的颗粒运动模型，并根据本次模拟的具体情况对其进行了修正。 作者在之前建立的四级爪型干式真空泵实体模型的基础上，根据分析问题的需要，又建立了分析用的实体模型。在CFX5.7及其相关软件的帮助下，进行了网格划分、模型的前处理、数值计算以及结果的后处理等工作。并对所得的结果进行了一系列分析与讨论。