微波微等离子体源在工业生产中有重要应用,可以产生可控的小尺寸放电,在生物MEMS灭菌消毒、小规模材料处理、微化学分析系统、微推进等领域中有广泛前景。基于小型化便携设备的应用需求,选择了2.45GHz的微波工作频段。这种微等离子体源体积小、易于集成,能在小功率、常压条件下实现长期放电。为实现便携式微等离子源,首先必须为其集成一个微波固态源,即微波振荡器。本文从两个角度分别设计了2.45GHz的负阻振荡器。第一种为微波晶体管负阻振荡器,采用共基组态且基极加正反馈电感的电路形式。根据振荡条件,计算两端口网络的源匹配和输出匹配网络,最后在ADS软件中进行优化和仿真。第二种在CMOS工艺下,用LC振荡器实现2.45GHz信号源设计,并且在Candence软件中进行了时域仿真。最后,本论文对基于MSRR的微波微等离子体源的集成与封装做了一个总体的介绍,包括集成框图和封装工艺,并且给出了等离子体激发以后谐振器反射系数的仿真结果。本研究受国家自然科学基金资助项目(60471015)部分资助。