激光标刻是一种新型标刻方式,它具有非接触、无污染、无磨损等独特优点,是激光技术在工业中的重要应用。振镜扫描式激光标刻系统是激光标刻中采用最多的标刻方式,它的加工精度高,标刻速度快,有逐渐取代其它激光标刻方式的趋势。本文包括振镜扫描器组成原理分析,振镜扫描器伺服系统理论设计,振镜扫描器伺服电路设计三部分。振镜扫描器由扫描反射镜、扫描电机及伺服驱动电路、角位置传感器和扫描物镜组成。文中探讨了各组成部分的工作机理和结构特点,定量给出了角度传感器输出电压与电机转角的比例关系,并根据电机转矩平衡和电枢电压平衡两大规律推导出扫描电机偏转角度与驱动电压之间的函数关系,建立了扫描电机的数学模型。进行伺服系统理论设计时,将振镜扫描器抽象为一个典型的位置随动控制系统。根据扫描电机的数学模型确定了位置反馈加电流反馈的双闭环负反馈控制结构。为保证振镜扫描器按照系统性能要求稳定、快速、准确地运行,接下来根据扫描电机的特性设计了由串联PID控制器和转速微分负反馈控制器构成的校正装置,这样就得到了振镜扫描器伺服系统的理论模型。最后,根据伺服系统的理论模型,设计了振镜扫描器伺服驱动电路。这一电路是伺服系统理论模型的物理实现,还具有众多的辅助功能,使振镜扫描器在各种工作状况下都能准确、稳定、安全地运行。证明本课题设计的振镜扫描器伺服驱动电路达到了振镜扫描器的各项性能要求,能够满足激光标刻应用的需要。