论文部分内容阅读
本论文采用氮原子束辅助脉冲激光沉积的方法，在Co/Ni过渡层上制备了CNx纳米薄膜；在背景氧气中制备氧化锌薄膜，并采用退火扩散的方法降低本征氧化锌中大量的背景n型载流子。
本论文通过在GaAs衬底上沉积生成氧化锌薄膜，然后再采用退火扩散的方式将受主原子As掺杂其中，以补偿天然制备的氧化锌中大量的n型载流子。虽然在退火扩散的过程中，将作为施主原子Ga也扩散到已生成的氧化锌薄膜当中，但是我们实验测得的数据表明两种原子引起的综合效果仍旧是使ZnO中的n型载流子浓度降低，而非升高。这证明用退火扩散这种方式是可以实现n型载流子浓度的补偿效应的，可以实现由n型到p型的转变的。