眼压信号是青光眼患者特别是重症青光眼患者需要实时、准确监测的一项非常重要的生理信号。目前医院常用的眼压测量仪器,由于其尺寸大,无法连续监测且需要外人协助测量等因素的影响,无法满足患者24小时眼压较为准确、方便地测量。为此,本文研究了一种可植入式柔性眼压传感器用于青光眼患者的眼压长时间连续监测,并且主要围绕眼压传感器的工作原理、结构设计、工艺制作、测控系统、表征和性能测试等方面进行研究。本文首先分析总结了国内外可植入式眼压传感器和柔性压力传感器的研究现状并提出了一种基于微纳接触敏感机制的电容式压力传感器。这种微纳接触敏感结构的电容式压力传感器受压力作用后,具有易变形、介电常数变化大的特点,因此能够提高传感器的灵敏度。根据传感器的原理、结构设计和可植入的特殊应用,本文选用了可生物兼容的材料,并且主要研究了两种微纳接触结构的电容式压力传感器的制作工艺。一种是利用规则的金字塔结构,另一种是利用多壁碳纳米管制作微纳接触结构。综合分析比较了两种方法的优缺点,并重点对多壁碳纳米管制作的微纳接触结构的电容式压力传感器进行研究。传感器的测控系统也是本文的重要研究内容,它主要由密封腔体、环境控制模块、信号处理模块组成。考虑到眼压的特殊环境,本文设计、制作的密封腔体和环境控制模块能够控制密封腔体内的压力、温度等环境因素。信号处理模块主要包括电容检测电路和电子测量仪器,用于检测和传输传感器的信号。此外,设计、制作的固态压力系统,用于传感器对固态压力的响应。建立的传感器测控系统能满足眼压传感器的性能测试和模拟体内眼压环境的要求。最后通过高精密测量仪器和传感器测控系统对传感器进行表征和性能测试。实验结果表明,本文研究的基于微纳接触敏感结构的电容式压力传感器具有良好的稳定性、重复性、迟滞,传感器的灵敏度可达1.3/kPa,传感器对微小压力的响应时间达到毫秒级,并且不易受温度的影响。这种高性能的可植入式柔性眼压传感器,经过合适的封装后,不仅适用于体内眼压的测量,而且也会有力地推进新型微传感器在医疗、健康监测、移动健康服务等领域的应用。