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金刚石在自然界已知的材料中硬度、密度、声速、导热率和弹性模量,都是最高的。同时,金刚石还具有极低的热膨胀系数、极宽的带隙宽度以及良好可见光透射率。在高温下金刚石也不与普通的酸性物质发生化学反应,有良好的化学稳定性。金刚石众多的突出性质使得它在刀具、导热、窗口材料、大功率器件、微波器件等方面具有重要的应用价值,但高透明金刚石薄膜及外延单晶生长仍然存在很多问题需要解决。本文利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)合成金刚石。主要工作分为两部分,一是以高温高压合成的金刚石为籽晶,在其表面上同质外延生长