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随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-LIGA技术得到了广泛的应用。SU-8光刻胶已成为制作高深宽比结构的首选光刻胶。然而SU-8胶在工艺过程中会产生较大的内应力,这个问题是制约用SU-8胶制作更高深宽比及尺寸精度微结构的重要问题之一。超声时效技术是材料去应力方面的一项重要技术,这种技术可以有效降低金属残余应力,可以在聚合物加工中影响大分子链运动,降低聚合物黏度。本文旨在利用超声时效技术去除SU-8胶内应力,研究有效的超声时效去除SU-8胶内应力的方法。本文结