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精密二维扫描工作台是三维表面形貌测量仪器的重要基础。研制定位精度高、运动面平面度高、运行平稳的高性能精密二维扫描工作台对于提高三维表面形貌仪器性能具有重大意义。为此,本文研究共基面二维扫描工作台,研究基于透射式双正交衍射光栅二维位移同步计量技术,建立了共基面二维扫描同步计量工作台。论文首先采用特殊的机械结构设计,提出了共基面二维扫描工作台结构方案。该方案使得二维扫描工作台的导向面处于同一平面上,实现了二维共基面扫描,有效保证了二维扫描平面精度。并用有限元分析软件ANSYS分析了该结构方案的关