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近年来,基于聚合物材料的柔性电子受到了广泛关注,在显示器、太阳能电池、传感器等领域具有广阔应用前景。MEMS(Micro electro mechanical systems)继电器在电路中起着控制、电路转换以及逻辑运算等作用,是电子器件中重要的电子元件。传统的基于硅等硬质材料的MEMS继电器无法用于柔性电子。为此,本文提出了一种基于聚酰亚胺的静电驱动型MEMS继电器的制作方法,继电器的基底和可动结构都是聚酰亚胺材料,使继电器具有良好的柔性。首先,对PW-1500S、FB-5410和ZKPI-520