目前，在低温等离子体应用领域，国内的低温等离子体设备系统自动化程度较低，将基于现场总线与以太网的现代网络测控技术引入该领域，可以提高等离子体技术应用的自动化水平，扩展其应用领域。　　 本论文在实验室已有工作的基础上，以低温等离子体设备系统为具体应用对象，进行了两种不同网络结构测控系统软硬件平台的设计与开发;结合具体应用对象，对两种网络测控系统平台进行了特性分析与性能测试。　　 论文的主要工作内容包括:　　 1、根据低温等离子体设备系统的特点及控制要求，进行了基于CAN总线与以太网的网络测控系统方案设计。其中，第一种网络结构是，上层以太网+底层设备节点CAN网络，两者通过CAN-Ethernet网关连接;第二种网络结构是，上层控制与底层设备节点统一采用以太网，通过交换机连接。　　 2、基于低温等离子体设备系统网络测控方案，以TI公司的LM3S8962为核心芯片，研制了具有CAN与以太网通信接口的智能节点控制器。该节点控制器用于设备控制系统中底层设备单元的测控及网络通信，实现了多节点网络测控系统硬件平台的搭建。　　 3、根据低温等离子体设备系统及各设备节点的控制要求，编写了底层设备驱动程序;针对两种方案，设计了各节点控制程序以及上位机人机控制界面，完成了测控系统整体软件的设计。　　 4、对测控系统的软硬件系统进行了测试，包括功能测试以及性能测试，并对两种方案进行了分析比较。　　 上述工作的开展，一方面，可以作为开展网络测控相关技术研究的平台;另一方面，可以获得自主知识产权的技术，具有较高的应用研究和开发价值。