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本文采用自行设计的射频等离子体增强化学气相沉积设备(RFPECVD)在生物玻璃基板上沉积了超薄类金刚石碳(DLC)膜,并采用探针轮廓仪、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、摩擦磨损仪、紫外-可见分光光度计等设备分别对薄膜的厚度、成分、结构、表面形貌、粗糙度、摩擦系数、透过率等进行表征,研究了不同参数条件下超薄DLC膜的结构和性能,优化了超薄DLC膜的制备工艺。结果表明,DLC膜厚度受射频功率、沉积时间及丁烷流量的影响：射频功率越大,沉积时间越长,气体流量越大,厚度越厚。DL