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用于可穿戴设备的传感器应同时具备良好的柔韧性和高灵敏度,PVDF压电薄膜以其优良的性能可以同时满足以上两点要求。诸多研究都认为具有曲面柔性基底的PVDF薄膜传感器比平面基底的传感器具有更高的灵敏度。如果将平面变化到半圆看作是一个渐变的过程,则存在半椭圆,因此本文提出了半椭圆柔性基底的PVDF薄膜传感器结构。在不同的应用场合,根据约束的不同将传感器分为等弦长、等弧长两类。本文主要研究了在集中力作用下,半椭圆柔性基底的尺寸对PVDF薄膜传感器灵敏度的影响。 本文首先对半椭圆柔性基底在1N集中力作用下,基底表面的应变分布进行了ANSYS仿真。仿真结果表明,当短半轴b的长度在较大范围内,半椭圆柔性基底受集中力时产生的平均应变要高于半圆柔性基底,这表明半椭圆柔性基底会起到提高传感器灵敏度的作用;然后,仿真了等弦长、等弧长两类传感器在集中力作用下的输出电压,发现半圆、半椭圆柔性基底PVDF薄膜传感器的输出电压都要高于平面传感器,在合适的基底尺寸下,半椭圆柔性基底PVDF薄膜传感器的是输出电压要高于半圆传感器;随着短半轴b的增大,半椭圆基底PVDF薄膜传感器的输出电压呈现出先增大后减小的趋势;当等弦长传感器取得最大电压时,a/b=2/1,当等弧长传感器取得最大电压时,a/b=9/5。柔性基底的尺寸越小,半椭圆、半圆传感器的输出电大。 本文制作了长半轴a与短半轴b的尺寸组合分别为(3mm,1mm)、(3mm,1.5mm)、(3mm,2mm)、(4mm,2.5mm)、(5mm,3mm)的五种半椭圆PDMS基底PVDF薄膜传感器,分别编以1-5号,并分别测试了每个传感器的电压灵敏度和频率响应。由实验结果可知,五个传感器的电压灵敏度与ANSYS仿真结果接近,具有良好的低频特性,且2号传感器具有最高的电压灵敏度。然后,选用了2号、4号、5号三个传感器进行了人体脉搏测量实验,测量结果同样表明2号传感器测量效果最好,具有最大脉搏波峰。但在测量过程中发现,所使用的腕带的松紧程度对测量结果也有较大的影响,只有当腕带松紧度适宜时,人体脉搏图像才具有明显的波峰和波谷以及清晰的细节。 综上所述,为了使半椭圆PDMS基底PVDF薄膜传感器受集中力作用时具有较高的电压灵敏度,半椭圆柔性基底设计规则是:对于长半轴a在2~8mm范围内的等弦长传感器,长半轴a的长应为短半轴b的2倍;对于PVDF薄膜长度在2π~8πmm的等弧长传感器,长半轴a的从应为短半轴b的1.8倍。