多功能X射线定向仪控制系统设计及缺陷识别方法

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随着电子信息产业的高速发展,单晶材料的品质及其加工技术受到越来越多的重视,其中对单晶材料的品质进行精确检测是一道关键工序。目前采用X射线衍射技术对单晶材料进行无损检测是工业上一种常用的技术手段,通过对单晶晶片的X射线衍射可以得到晶片材料的特征曲线,基于该特征曲线就可以分析得到所检测单晶材料的品质特征参数。然而目前用于各单晶材料无损检测的X射线定向仪是各自独立的,呈现“一机一片”现象;对于单晶材料的缺陷类型判断仍处于人工判断阶段,整体仪器自动化水平不高,单晶材料的智能无损判断亟待解决,因此设计一款集多
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