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本文对采用溶胶-凝胶法（Sol-gel法）制备的Ba_xSr_(1-x)TiO_3（BST）薄膜的工艺进行了初步研究，制备出了光滑均一的BST薄膜。对不同情况下制备出的薄膜的结构进行了分析研究，重点对BST薄膜的介电性能进行了研究，并尝试对实验结果做出解释。 溶胶的制备中，环境温度、水分、稳定剂的比例以及溶胶的浓度对所制备薄膜质量有较大影响。 在后处理工艺上