MEMS元器件作为时代朝着科技化前进的产物,在工业技术制造中施展着不容或缺的效用。由于MEMS元器件的高可靠性,往往会在有限的试验过程中产生产品无失效或少失效的情况以致于无法得到产品失效数据,基于MEMS元器件高可靠性的特性,探讨无失效数据的MEMS器件可靠性预测与分析方法已成为相关领域专家学者的主要学习方向。所谓无失效数据,就是指对一些高可靠性产品进行寿命预测试验,这些试验的试验时间由试验者事先设定好。而在试验结束,即当产品寿命达到预先设定的时间后,产品并没有产生失效或故障的情况。针对寿命服从指数分布和威布尔分布模型的MEMS元器件在试验过程中出现无失效数据情况时,本文采用最优置信限和配分布曲线法进行了深入分析,以期得出针对MEMS元器件的既能尽量降低试验成本又能得出高准确度预测值的最优试验方法。首先对可靠性预测相关理论基础做出详细解释,罗列出MEMS元器件寿命服从分布类型的可靠性方面指标相关参数,介绍截尾寿命试验中MEMS元器件的定时分组方法。其次,针对寿命服从威布尔以及指数分布模型的MEMS元器件,分析介绍最优置信限法以及配分布曲线法的基本原理及适用范围,应用到MEMS元器件的可靠度预测上,分析试验组数对于预测分析结果的影响,通过进行不同分组试验,获得MEMS元器件的最佳寿命试验分组数。最后,提出适用于无失效数据的MEMS元器件可靠性预测试验最优分组方法,并提出了基于以上研究论题的未来研究方向。