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分层微细电铸基础研究及装置设计

被引量 : 5次 | 上传用户：zguohui69

【摘 要】

：

微细制造技术被广泛地认为是21世纪最重要的技术之一。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的发展,对微机构所提出的要求也越来越高,高深宽比微细结构就是其中关键之一。一种分层电化学(电沉积)制造技术(Electrochemical Fabrication, EFAB)可以直接、快速、批量生产出复杂的高深宽比三维微细金属结构,与其它机械加工相比,具

【作 者】

：

毛计庆 

【机 构】

：

南京航空航天大学

【发表日期】

：

2008年03期

【关键词】

：

MEMS 高深宽比微细结构 EFAB Lab VIEW 运动控制 

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微细制造技术被广泛地认为是21世纪最重要的技术之一。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)的发展,对微机构所提出的要求也越来越高,高深宽比微细结构就是其中关键之一。一种分层电化学(电沉积)制造技术(Electrochemical Fabrication, EFAB)可以直接、快速、批量生产出复杂的高深宽比三维微细金属结构,与其它机械加工相比,具有较好的经济性。但是EFAB制造高深宽比三维微细金属存在着材料单一、质量不稳定、生产效率低等缺点,这严重

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