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光栅杂散光是评价光栅品质的重要性能指标，其测量一直是光栅研制领域的难题。为解决光栅杂散光高精度测量问题，长春光机所于近期启动自主研制测量光栅杂散光的专用仪器——衍射光栅杂散光测试仪。如何排除仪器自身杂光辐射对测量带来的干扰，实现光栅杂散光的直接测量是该仪器研制的重点和难点。作为仪器研制工作的前期设计，本文深入研究了光栅杂散光测试仪光学机械结构设计及仪器杂光的抑制，主要完成了以下工作：第一，对比国内外不同的光栅杂散光检测方法，并基于标量衍射理论和经典Fresnel-Kirchhoff衍射理论，