大型蓝宝石晶体生长提拉系统动态性能分析研究

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蓝宝石晶体具有良好的机械性能和光学性能,被广泛应用于光伏产业、国防科技等众多领域。目前大尺寸蓝宝石晶体成为发展重点,生产大尺寸、高质量的蓝宝石晶体,需要高性能大型晶体生长设备,因此提高设备的研发水平,设计制造高性能的大型单晶炉成为发展蓝宝石产业的关键。  高稳定性是大型蓝宝石单晶炉的一个重要指标,与设备稳定性直接相关的为提拉系统,因此为得到高稳定性的单晶炉,本文以LJ-60大型泡生法蓝宝石单晶炉为研究对象,分析其提拉系统的动态性能,以及优化设备结构从而改善其动态性能,维持系统在运行中的稳定性,提高晶体生长质量。  首先,对运行中的LJ-60型单晶炉及其工作环境进行了振动分析,提出振动对晶体生长的影响,通过观察分析找出了引起系统振动的原因,并提出了针对性的改进措施。  其次,利用Pro/E平台建立了单晶炉提拉系统的三维实体模型,并在ANSYS Workbench软件平台上建立了对应的有限元模型,运用仿真分析方法对晶体炉提拉系统进行了模态分析和谐响应分析,得到了提拉系统动态性能相关参数。同时,通过实际测量获得的结果与上述分析结果一致。  再次,对提拉系统中的关键部件传感器进行了静力学分析,获得其刚度强弱分布区域,为后续优化提供数据基础。  最后,以所有分析结果为基础,进行了单晶炉提拉系统零部件的结构优化,包括籽晶杆部件和传感器,并再次对优化后的单晶炉提拉系统进行了模态分析和谐响应分析,通过前后结果对比分析可知,优化设计取得了良好的效果。经过对优化后的实际提拉系统进行振动检测,同样取得了良好的效果。
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