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Fabrication Simulation of 3D C-MEMS/NEMS for Biological Sensing and Manipulation

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：blackhorse1983

【作 者】

：

Muhammad Rizwan Malik 

【出 处】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2018年09期

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