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自适应光学系统利用镜面的形变来实时校正波前畸变,从而清晰成像,其中最复杂,同时也最具代表性的部分是变形镜。传统方法制造的变形镜由于成本高、控制复杂等原因已无法满足现代要求。微光学自适应系统利用微加工工艺制作微变反射镜,大大降低了成本,提高了生产效率,并且与IC工艺兼容,适合批量生产。随着微光机电系统(MOEMS)的发展,单元尺寸为微米量级的微变反射镜阵列的制作已成为可能,这又推动了微光学自适应系统的发展。本文介绍一种新型的可调焦微光学自适应微变反射镜阵列。基于双金属效应,利用微细加工方法制