在精密加工定位和跟踪应用中,机器人、转台和超精密机床通常要求伺服系统具有很高的定位精度和低速性能,特别是MEMS和纳米技术涉及到的超高精度加工设备,往往要求纳米级的定位精度和每秒微米级的稳态速率。这类设备是实现超精密加工最重要、最基础的条件,直接影响国防建设和尖端技术的发展。伺服系统的定位精度和低速平稳性受到传动机构摩擦的制约,主要体现在：产生控制死区,降低角分辨率和重复精度,使系统产生稳态误差,导致低速爬行或Stick-Slip运动。机床工作台经常出现的故障就是在运行中出现爬行,尤其是在低速运行中,轻微时出现目光不易觉察的振动,显著时,将会出现间隙跳动,即停止和滑动交替产生的不连续的振动。机床爬行现象会严重影响加工精度和零件表面粗糙度。掌握其机理,从根本上抑制、消除爬行现象,是精密加工必须要解决的问题。本课题的研究具有十分重要的理论和现实意义。本文首先通过摩擦理论的学习和总结,对爬行的本质和现象进行了解释,并引入了爬行的评价指标和描述方法,为以后的爬行分析提供评价的标准和办法。通过对单自由度和两自由度系统的爬行现象进行数值分析和CAE仿真,分析了产生爬行现象的因素,提出抑制爬行的基本方法。对Pro/E、ANSYS和ADAMS联合仿真的方法进行了研究,并用该方法建立了曲柄滑块机构的虚拟样机模型,该模型考虑连杆柔性和运动副摩擦,具有刚性和柔性耦合的特性。对所建立的曲柄滑块机构的样机模型进行仿真分析,结合前面对于弹簧质量系统爬行机理的研究,找到该机构产生爬行现象的根本原因,针对这些因素提出防止爬行的措施,为以后工程中其它机构的防爬手段的研究提供参考。