论文部分内容阅读
近几年来随着电子及微电子工业的飞速发展,微波通信产业迅猛崛起。微波通信产业的发展极大的促进了微波材料及其器件的研究。微波频率器件的高度集成化及其工作频率的提高已经成为微波通信器件发展的趋势。目前主要的微波频率器件主要有三种:半导体器件、声器件(SAW、FBAR等)、和微波介质器件。微波介质器件具有损耗低、性能稳定可靠、成本低、适合于微波高频段等优点,成为当今国内外研究的热点。目前国内外的研究主要是块状器件的研究,但是块状材料的尺寸最少也要λ/4,不能满足集成化、高性能的要求,这阻碍了微波介质器件的应