本论文采用直流共溅射法在表面氧化的Si（001）基片上制备了FePt薄膜样品。利用X射线衍射仪（XRD）、振动样品磁强计（VSM）和扫描探针显微镜（SPM）对样品的结构和磁性进行了测量和分析，研究了不同热处理方式、热处理温度、FePt薄膜厚度和C底层厚度对薄膜结构和性能的影响。主要研究结果如下：（1）对于不同退火方式获得的L10-FePt薄膜，经真空炉退火后的样品具有强（001）取向和较高的有序度，垂直膜面矫顽力数值大于平行膜面的，具有较大的垂直磁各向异性；经氢气气氛下管式炉退火后的样品具有良好的（001）织构，垂直膜面的矫顽力明显大于平行膜面矫顽力，具有明显的垂直磁各向异性。（2）对于不同热处理温度获得的样品，随着热处理温度的升高，FePt晶粒尺寸、有序度参数、I（001）/I（111）值及（001）取向生长增强，垂直膜面矫顽力增大，平行膜面矫顽力则先增大后减小，垂直膜面方向的剩磁比呈现增大的趋势，而平行膜面方向的剩磁比则呈现减小的趋势。经600℃热处理获得的样品，I（001）/I（111）高达203，薄膜样品具有良好的（001）织构，垂直膜面矫顽力值高达9.046kOe，垂直膜面和平行膜面矫顽力之差Hc⊥-Hc∥为8.291kOe，样品的垂直磁各向异性最大。（3）对于不同厚度的L10-FePt薄膜，随着薄膜厚度的增加，FePt（111）衍射峰的强度增强，I（001）/I（111）值逐渐减小，（001）取向生长有减弱的趋势，垂直膜面与平行膜面的矫顽力之差Hc⊥-Hc∥先增大后减小，平行薄膜表面的剩磁比S∥明显增大，样品的垂直磁各向异性减弱。当薄膜厚度为10nm时，样品垂直膜面与平行膜面的矫顽力之差Hc⊥-Hc∥最大，具有更明显的垂直膜面磁各向异性。（4）对于不同C底层厚度的L10-FePt薄膜，随着C底层厚度的增加，I（001）/I（111）值和轴比c/a值明显增大，L10-FePt薄膜（001）取向度增强，有序化程度提高，矫顽力增大、平行膜面的剩磁比减小、垂直膜面的剩磁比增大。当C溅射时间为180s时，获得了具有强（001）取向生长的L10-FePt薄膜。