【摘 要】
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铌酸锂(LiNbO3)晶体因具有优良的电光、热电、压电、光折变和非线性光学效应等一系列特殊性质，成为目前用途最广泛的新型无机材料之一。80年代末以来，光电子技术和薄膜制备工艺的飞跃发展，使得利用铌酸锂薄膜制成新一代光学集成器件成为可能。铌酸锂薄膜因其具有易于器件集成、体积小、响应快等优点正受到越来越多的关注。目前LiNbO3薄膜的制备方法主要有：溅射(sputtering)法、脉冲激光沉积(PLD)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法和溶胶-凝胶(sol-gel)法等。本课题是采用溶胶-凝胶法来制备
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铌酸锂(LiNbO3)晶体因具有优良的电光、热电、压电、光折变和非线性光学效应等一系列特殊性质，成为目前用途最广泛的新型无机材料之一。80年代末以来，光电子技术和薄膜制备工艺的飞跃发展，使得利用铌酸锂薄膜制成新一代光学集成器件成为可能。铌酸锂薄膜因其具有易于器件集成、体积小、响应快等优点正受到越来越多的关注。目前LiNbO3薄膜的制备方法主要有：溅射(sputtering)法、脉冲激光沉积(PLD)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法和溶胶-凝胶(sol-gel)法等。本课题是采用溶胶-凝胶法来制备铌酸锂薄膜。 在本研究中，以乙醇锂(LiOC2H5)粉末和乙醇铌(Nb(OC2H5)5)溶液为初始原料来制备铌酸锂粉末和铌酸锂薄膜。首先以无水乙醇为溶剂通过一定条件反应合成双金属醇盐LiNb(OC2H5)6，再在同样的反应条件下水解双金属醇盐，得到乳脂状沉淀。经过滤、干燥得到胶体。将一部分胶体热处理后得到铌酸锂粉末；用去离子水和醋酸配制一定摩尔浓度的LiNbO3薄膜前驱体，采用旋转法在洁净的石英基片上制备薄膜，然后进行热处理，研究热处理时不同升温速度对薄膜形貌的影响；最后针对溶胶-凝胶法中存在的一些缺点，如前驱体不稳定、单层薄膜厚度不理想等缺点，引入一种有机聚合物聚乙二醇(PEG)作为溶胶的胶合剂来改善薄膜质量，实验证明，PEG对改善薄膜前驱体稳定性、单层薄膜厚度以及薄膜形貌等都有作用，而且PEG的加入不会改变薄膜的光学性质。
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