光学薄膜特性多维计算、设计、测试与分析综合软件

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随着镀膜工业技术水平的迅速提高,光学薄膜设计软件在镀膜领域广泛应用。多功能、综合性是光学薄膜软件的发展趋势。目前该类软件为国外所垄断,因此,开发具有自主知识产权的多功能、综合性的光学薄膜设计与分析软件对促进我国光学薄膜技术与产业的发展具有重要的应用意义。 论文对国内外同类光学薄膜软件进行较全面的介绍和分析,根据目前光学薄膜软件的发展现状并结合实验室的软硬件资源,以光学薄膜设计分析理论为基础,使用Visual Basic6.0开发出一套具有自主知识产权的多功能、综合性的光学薄膜特性多维设计与分析软件“SYSU_OTFLab光学薄膜设计软件V1.0”。 该软件能计算光学薄膜的各种基本特性(透射率、反射率、相移、电场分布、等效光学导纳、等效位相厚度等);能使用针法、遗传算法等多种优化算法优化已有膜系,提高膜系性能;能对薄膜沉积过程进行仿真分析;并创新性的实现光学薄膜多维分析计算功能,为使用者提供一个多角度多参数的光学薄膜多维分析工具。此外配合实验室的仪器资源,该软件能对镀膜过程中光学薄膜的厚度进行实时宽光谱监控,并能对器件的光谱特性进行测量。 论文以软件工程思想为指导对光学薄膜软件的开发提出了一些新的解决方案,如:使用单个顺序文件开发材料数据库;将常用函数编译为动态链接库提高代码重用率;采用混合编程把复杂优化运算交托Matlab后台处理;使用第三方显示控件对光学薄膜分析结果进行二维或三维的图形显示。同时论文运用虚拟仪器技术,自主研发光学镀膜宽光谱监控仪,实现对镀制任意厚度光学薄膜的监控; 并二次开发全自动光栅光谱仪、光源光谱特性测试系统,实现器件光谱特性的测量.
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