随着经济发展和社会进步，生物材料的研究与应用日趋广泛。提高材料的生物活性是金属基生物医用材料的研究重点之一。钛合金具有较高的比强度和优良的抗腐蚀性能，但钛合金的生物活性较差，直接植入体内易形成纤维缔结组织，难与周围骨组织形成化学键性结合。羟基磷灰石（HA）是自然骨的主要成分，具有优良的生物相容性和生物活性。钛合金表面沉积HA后，兼具金属材料和生物活性陶瓷材料的优点，是一种理想的骨组织植入材料。本文对钛表面分别进行碱处理和等离子辅助气相沉积（PACVD）SiO₂功能薄膜层，然后进行体外模拟实验，在其表面诱发沉积一层HA。采用SEM、XPS等手段对钛表面的显微结构和组成进行了观察和分析，得出了碱处理和PACVD沉积SiO₂功能薄膜诱发形成HA的较优工艺参数。实验结果表明，碱处理时碱液浓度和处理时间对表面形成的网状结构有显著影响，温度对碱液处理后的表面形貌影响不大。PACVD沉积SiO₂功能薄膜层时，通过工艺优化，可获得较纯净的SiO₂层。碱处理后和沉积有SiO₂功能薄膜层的样品在模拟体液中均可诱导沉积HA层。碱处理诱发形成HA合适工艺为：纯钛在60℃10mol／l的NaOH中处理24小时，形成均匀的网状结构，在60℃的5SBF中浸泡，诱发沉积出较多的HA，随着时间的延长，HA的量会增加。PACVD沉积SiO₂功能薄膜层后诱发形成HA的合适工艺为：压力5×10^-1Torr，水浴温度8℃，空气流速10sccm，时间30min，可以得到厚度约为40nm较为纯净的SiO₂功能薄膜层；样品在15Ca／P-5SBF中浸泡7天时，可以诱发形成均匀分布颗粒状的HA，HA颗粒的直径大约为300nm。