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质谱仪是一种重要的物质分析仪器。近年来,质谱仪的微型化受到世界各国研究者的广泛关注。其中,离子源和质量分析器的微型化研究尤为关键。电子源是离子源中轰击样品气体使其电离的部件。本文首先在高频板上制作微带线电路,通氩气实现微波放电,获得微等离子体电子源,激发功率仅需1W,微波频率在2.45GHz附近。然后,利用光纤光谱仪测出放电等离子体的发射光谱图,再由波尔兹曼斜率法拟合出电子激发温度为0.21eV。接着,本课题设计了微电子源芯片,包含等离子体发生和电子引出,并采用微加工技术将芯片成功制