本文首次提出了双镀层光刻法制作振幅型高温栅和高温高频位相栅的新工艺,它的特点是:利用两选择性金属镀层,可以在不同的材料表面上制作高温栅,使本工艺比原有的高温栅制作工艺具有更加广泛的适用性。同时,通过在试件表面沉积抗氧化能力强的金属镀层,改善了高温栅的使用效果,且延长了高温栅的使用寿命。 本文首先使用双镀层光刻法制作的振幅型高温粗栅对铍青铜试件进行475℃高温拉伸蠕变测量。然后应用双镀层高温全息光栅对带孔拉伸试件的600℃高温拉伸残余蠕变变形进行测量。最后利用双镀层振幅型高温粗栅对清河发电厂主蒸汽管道进行高温长期蠕变监测,建立了云纹法测量曲面变形的基本原理,并对实验结果进行近似计算和误差修正。实验研究表明,应用云纹法进行主蒸汽管道蠕变长期监测比目前各大电厂普遍使用的卡尺测点蠕变测量法有更高的精度,而且是切实可行的。