非球面柔性抛光技术研究

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非球面光学元件因其光学性能优越,结构紧凑等优点正越来越多的应用于各种精密光学仪器中。这就要求非球面的制造过程能够实现快速、批量生产。目前CNC数控技术己经能够实现光学非球面元件的精密快速铣磨成型。然而,非球面抛光仍是影响非球面加工效率和精度的主要因素。 本文以FRP-1型非球面柔性抛光机为平台,对非球面柔性抛光技术进行了初步的工艺实验研究;研究了工件轴转速、磨头的充气气压、工件曲率等参数对表面粗糙度和材料去除量的影响,给出了各参数与表面粗糙度,材料去除量的关系曲线图,揭示了它们之间的规律。最后,根据去除量函数的假设理论——Preston方程,借鉴CCOS的理论研究,结合该设备的原理和运动结构初步研究了材料去除函数,为以后进一步研究、优化工艺设计及设备的改进和自动控制提供了理论依据。 研究结果表明对于FRP-1型非球面柔性抛光机而言,工件表面粗糙度与工件轴转速、抛光气压近似成线性的关系;气压和工件轴转速越大,表面粗糙度收敛的越快,抛光效率越高;大曲率工件的抛光效率要优于小曲率工件。工件表面材料去除量与工件轴转速、磨头的充气气压也近似成线性的关系;工件轴转速、充气气压越大,去除量越高;越靠近工件边缘的区域,去除量越高。结合抛光效率和抛光的均匀性,得出了在其它参数不变的条件下,工件轴转速和抛光气压的最佳值:工件轴转速为6~8rad/s,抛光气压在4~5KPa。在这种工艺条件下对初始表面粗糙度为0.15μm,口径为Φ60mm的K9玻璃进行抛光实验,60分钟后,工件表面粗糙度收敛至0.008μm,在20mm的检测范围内,材料去除量最大差值仅为0.11μm,基本达到了均匀抛光。
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