论文部分内容阅读
精密定位平台作为精密制造与测量、微纳米操纵技术、半导体封装等领域的关键技术之一,有着极其重要的应用价值和理论研究价值。随着科学技术的发展与进步,各领域对精密定位平台提出了更高的要求,其中大行程高精度精密定位的研发已经迫不及待。本文结合自然科学基金设计了一种大行程、高精度的精密定位平台,对平台的结构和动力学模型辨识方法以及控制方法进行了研究。论文的主要研究内容如下:(1)在结构设计方面,设计了一种以音圈电机作为驱动器的精密定位平台。该平台具有两个自由度,主要分为基于双平行四杆机构设计的上平台和基于虎克