【摘 要】
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太赫兹技术在研究领域和应用领域都有受到了越来越广泛的关注,尤其是太赫兹辐射源和太赫兹探测器技术瓶颈的突破,更是给太赫兹的发展注入了强劲动力,使其成为科学界的热点领
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太赫兹技术在研究领域和应用领域都有受到了越来越广泛的关注,尤其是太赫兹辐射源和太赫兹探测器技术瓶颈的突破,更是给太赫兹的发展注入了强劲动力,使其成为科学界的热点领域。其中,基于超导隧道结的太赫兹检测技术,经过长时间的发展,制备工艺成熟且相对简单,是热门研究对象之一。本文对超导太赫兹直接检测器的关键工艺进行了优化,并成功制备了超导隧道结太赫兹检测器样品。具体工作如下:1)采用步进投影式光刻技术,解决了检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。2)实验通过调节反应离子刻蚀中CF4/O2气体的比例,获得了 42°左右的Nb膜刻蚀斜坡,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题。3)成功制备出超导太赫兹直接检测器样品。在液氦环境下,对检测器的测试结进行低温I-V特性曲线的测量。4.2K下,直径10 μm的测试结的Jc约为0.76 kA/cm2,Ic约为100 μA。
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