磁芯螺线管微电感器的多材料3D打印制备和性能研究

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直写式3D打印技术作为增材制造领域的重要分支,可用材料广泛,打印精度高,能够实现复杂三维结构的制造,在射频电路螺线管微电感器的制造方面展现了较大的优势。基于此本文制备了可用于直写3D打印的导电墨水以及软磁墨水,利用高精度的多材料直写3D打印机实现了螺线管结构微电感器的制造,经过测试该电感器能够满足射频电路的要求。本文主要研究工作如下:(1)制备了纳米银墨水,该墨水能够实现10μm精度的立体结构打印,在退火后具有良好的导电性;同时制备了铁氧体复合材料以及坡莫合金复合材料两种软磁材料,并对两种材料的性质进行了探究,作为用于直写3D打印的墨水,具有良好的流变学性能,固化后结构稳定,作为软磁材料具有较低的矫顽力以及剩余磁化强度,同时有效磁导率的工作频率范围在5-10 GHz。(2)提出了微米级精度的多材料打印定位方式,利用纳米银墨水作为导电墨水,利用软磁复合材料作为磁芯材料,以此实现了含磁芯螺线管微电感器的多材料3D打印,电感器结构可控(长宽均可在百微米尺度),制备过程以及所需设备简单,能够满足射频电路对于集成化、小型化的要求。(3)根据多材料3D打印电感器结构以及磁芯材料的不同,电感器的电感值和品质因数也不相同,以铁氧体复合材料为磁芯的电感器的电感值在1.5-11 nH,谐振频率达到15 GHz,铁氧体复合材料磁芯的存在使得电感值在5 GHz范围内增加了20%左右;以坡莫合金复合材料为磁芯的电感器的电感值在3-42 nH,谐振频率达到12 GHz,坡莫合金复合材料磁芯的加入使得电感值增加了30%左右。
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