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SrBi2Ta209(SBT)材料是一种类钙钛矿结构的铁电材料,具有优异的抗疲劳特性,且不含铅等重金属,对环境无污染;同时,SBT材料作为一种三元氧化物具有成为阻变介质的潜力,经过多次的实验探索,发现基于Pt/SBT/Pt结构的器件具有优异的双极性阻变性能。因此,基于Pt/SBT/Pt的器件同时具有铁电极化翻转特性和电阻转变特性,利用这两种转变特性可以实现多值存储。本文采用溶胶凝胶法制备SBT薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),X射线衍射仪(XRD)等设备来表征薄膜的形貌和结