随着当前探测手段的日益多样化,多波段兼容隐身技术已经成为军事领域的一个重要课题。本文对多波段兼容隐身膜系结构进行了设计与制备。选用ZnS和Ag两种材料,根据诱导增透原理设计了可见及红外兼容隐身膜系结构；基于非对称F-P腔的吸收增强效应,设计了激光1.06μm及红外兼容隐身膜系结构。通过磁控溅射法对ZnS薄膜和超薄Ag膜进行了制备,测量了其光学常数,并重点对不同工艺条件下制备的超薄Ag膜的特性包括表面形貌、光学特性和晶体结构进行了系统的研究,分析了不同工艺参数对超薄Ag膜特性的影响,以获得比较理想的制备条件。对磁控溅射法制备多波段兼容隐身膜系结构进行研究。制备了可见及红外兼容隐身膜系结构,并分析了Ag膜和ZnS膜厚度对膜系结构光谱特性的影响,指出通过改变Ag膜和ZnS膜厚度可以调节膜系结构的光谱特性。在制备激光1.061μm及红外兼容隐身膜系结构的过程中,提出了合理的工艺改进方案,取得了比较满意的实验结果。为便于多波段兼容隐身膜系结构的应用推广,在柔性基底上制备了多波段兼容隐身膜系结构,实验结果表明：在柔性基底上制备的膜系结构具备良好的多波段兼容隐身特性。