266nm紫外激光器在工业、微加工、光刻及微刻技术、高分辨光谱学、医学等方面都有广泛的应用。本论文从理论和实验两方面对高峰值功率电光调Q266nm紫外激光器进行了研究。论文的主要内容包括：理论方面,由倍频效率的公式理论分析了非线性晶体的走离角以及晶体长度对倍频效率的影响。并且计算了KDP晶体和BBO晶体对532nm倍频获得266nm紫外激光的相位匹配角、有效非线性系数以及走离角等。对非线性紫外晶体四倍频相关的相位匹配参数进行了对比分析。实验方面,首先对KDP晶体腔外四倍频的高峰值功率266nm紫外激光器进行了实验研究。采用灯泵浦Nd:YAG晶体电光调Q1064nm激光作为基频光,腔外采用KTP晶体和KDP晶体分别二倍频及四倍频,在工作重复频率为1Hz和10Hz条件下,分别获得单脉冲能量34.9 mJ和28.9mJ的266nm紫外激光输出,峰值功率高达4.3MW；获得532nm到266nm转换效率达30%。其次,对BBO晶体腔外四倍频的266nm紫外激光器进行实验研究,在重复频率1Hz时获得了单脉冲能量最高为31.2mJ的266nm激光。最后,对KDP晶体和BBO晶体四倍频得266nm紫外激光的实验结果进行了对比分析。