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本文讨论了半导体制造业CIMS工程中设备自动化系统(EAP)的设计与开发。EAP系统主要功能是对生产线上机台(Equipment)进行实时监控，是实现生产自动化不可缺少的监控系统。经过认真地需求分析，本文中的EAP系统结构设计为三个模块，即EC、ED和Task flow。由于EAP面向外部系统通信协议不一样，所以系统设计对外有两个接口。EC模块实现对外面向CIMS中的其它子系统的接口，采用RV通信格式；而ED实现了面向设备系统的接口，采用基于RS232的SECS通信协议。采用三模块的系统设计结构使复杂的设备控制逐层分化，每个模块任务明确，易于实现。同时系统对外接口清晰，软件结构上有较强的重用性。 EAP系统主要实现了设备模式控制、设备初始化控制、材料状态跟踪、设备远程控制、数据采集、警报管理、设备状态管理、配方管理、与MES、AS通讯的功能。系统实现的优点在于适应性强、结构清晰、易维护。