【摘 要】
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随着先进制造技术和材料科学的发展,脆性材料如陶瓷、玻璃、硅片等在信息、原子能、微电子和生物化学等新兴领域有着越来越广泛的应用。这些领域不仅需要平面的脆性材料器件,
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随着先进制造技术和材料科学的发展,脆性材料如陶瓷、玻璃、硅片等在信息、原子能、微电子和生物化学等新兴领域有着越来越广泛的应用。这些领域不仅需要平面的脆性材料器件,而且增加了对弯曲器件、复杂曲面器件以及微弧度曲面器件的需求。由于零件材料的脆性特征,如果采用传统的外力成形容易导致材料破坏,而且对环境温度要求较高;若采用化学手段则需要较长的制造周期,控制的难度很大且有环境污染。激光弯曲成形技术基于热态积累成形原理,利用高能激光束对零件局部加热诱发不均匀热应力,使材料产生塑性变形以获得所需的目标形状。该技术具有柔性大,无污染等优点,为复杂脆性材料微小器件的成形加工提供了手段。基于功能玻璃广阔的应用前景,本课题对在高科技领域有重要意义的硼硅酸盐玻璃材料的激光弯曲成形进行了研究,采用实验测试、数值模拟和理论分析相结合的方法,通过对不同工艺条件下玻璃薄片变形行为的研究,深入分析了样品正向与反向弯曲的成形机理以及温度场与应力场分布规律,为实现玻璃微小器件的快速精确成形提供了理论依据。论文的主要研究工作如下:(1)利用CO2激光分别对硼硅酸盐玻璃薄片进行了正向与反向弯曲成形实验,得到了适合正向及反向弯曲成形的工艺参数,并研究了各工艺参数以及样品几何尺寸对弯曲效果的影响。(2)分析了玻璃薄片正向与反向弯曲机理,并利用有限元分析软件ANSYS分别对玻璃薄片正向与反向弯曲成形进行了数值模拟,通过模拟结果分析了样品厚度方向温度梯度及应力应变场的分布,对弯曲机理进一步确认。(3)利用红外光谱、X射线衍射、扫描电镜对激光扫描弯曲后的硼硅酸盐玻璃薄片微观结构变化进行了检测分析。上述研究工作解决了玻璃材料微小器件的快速成形问题,为脆性材料的柔性加工提供了理论基础,对促进玻璃材料在航空航天、微电子等高科技领域的应用具有重要的现实意义。
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